[发明专利]柔性调整机构有效
申请号: | 201110457618.7 | 申请日: | 2011-12-30 |
公开(公告)号: | CN103182689A | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 程海林;吴飞 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种柔性调整机构,包括柔性微调结构单元、支撑框架、球头调整结构和用于与被调整组件刚性连接的支撑架,所述支撑架和所述支撑框架垂直设置,所述柔性微调结构单元分别与所述支撑架和所述支撑框架相垂直,所述柔性微调结构单元的一端与所述支撑框架刚性联结,所述柔性微调结构单元的另一端与所述支撑架刚性联结,所述支撑架的两端分别通过所述球头调整结构与所述支撑框架连接,所述柔性微调结构单元通过压紧或放松支撑架来调整被调整组件,通过分别调整所述球头调整结构调整支撑架及被调整组件的高度和倾斜度。本发明可以实现组件多个自由度的定位可调,提高定位精度和固定的稳定性,同时降低了零件的加工难度。 | ||
搜索关键词: | 柔性 调整 机构 | ||
【主权项】:
一种柔性调整机构,其特征在于,包括柔性微调结构单元、支撑框架、球头调整结构和用于与被调整组件刚性连接的支撑架,所述支撑架和所述支撑框架垂直设置,所述柔性微调结构单元分别与所述支撑架和所述支撑框架相垂直,所述柔性微调结构单元的一端与所述支撑框架刚性联结,所述柔性微调结构单元的另一端与所述支撑架刚性联结,所述支撑架的两端分别通过所述球头调整结构与所述支撑框架连接,所述柔性微调结构单元通过压紧或放松支撑架来调整被调整组件,通过分别调整所述球头调整结构调整支撑架的高度和倾斜度。
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