[发明专利]波长可调的可见电抽运随机激射器件及制备方法无效
| 申请号： | 201110456104.X | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102545053A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 马向阳;田野;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01S5/30 | 分类号： | H01S5/30 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种波长可调的可见电抽运随机激射器件及制备方法，该器件的制备方法包括：采用溅射法在衬底上沉积CdZnO薄膜，再在惰性气体气氛下进行快速热处理；采用溶胶-凝胶法在CdZnO薄膜上沉积SiO2薄膜；采用溅射法在SiO2薄膜上沉积半透明Au电极，在衬底背面沉积欧姆接触电极。本发明以CdZnO薄膜为主要材料，同时在沉积CdZnO薄膜后对其进行快速热处理，制备得到了Au/SiO2/CdZnO MIS结构的电抽运随机激射器件。该器件在一定的正向偏压下能够发出位于可见区的电抽运随机激射；且根据不同的快速热处理温度，其随机激射带的中心波长在485nm～430nm范围内可调节。本发明器件的结构和实现方式简单，制备工艺及所用的设备与现行成熟的硅器件工艺兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 可调 可见 抽运 随机 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种电抽运随机激射器件的制备方法，包括：(1)采用溅射法在衬底上沉积CdZnO薄膜，再在惰性气体气氛下进行快速热处理；(2)采用溶胶‑凝胶法在CdZnO薄膜上沉积SiO2薄膜；(3)采用溅射法在SiO2薄膜上沉积半透明Au电极，在衬底背面沉积欧姆接触电极。
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