[发明专利]波长可调的可见电抽运随机激射器件及制备方法无效
| 申请号： | 201110456104.X | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102545053A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 马向阳;田野;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01S5/30 | 分类号： | H01S5/30 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 波长 可调 可见 抽运 随机 器件 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种电抽运随机激射器件的制备方法，包括：
(1)采用溅射法在衬底上沉积CdZnO薄膜，再在惰性气体气氛下进行快速热处理；
(2)采用溶胶-凝胶法在CdZnO薄膜上沉积SiO2薄膜；
(3)采用溅射法在SiO2薄膜上沉积半透明Au电极，在衬底背面沉积欧姆接触电极。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述的衬底为电阻率为0.005～50欧姆·厘米的N型硅片。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述衬底的温度为400～700℃。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，沉积CdZnO薄膜所用的靶材为CdZnO陶瓷靶，CdZnO陶瓷靶中Cd掺杂量以摩尔含量计为20％。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述的惰性气体为氩气或氮气。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述快速热处理的温度为800～900℃，快速热处理的时间为1～200秒。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，沉积SiO2薄膜后进行加热处理，加热处理温度为300～400℃，加热处理时间为1～2小时。
8.一种采用如权利要求1-7任一所述的制备方法制得的电抽运随机激射器件。
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