[发明专利]低磁矩高矫顽力的磁力显微镜探针及其制造方法有效
| 申请号： | 201110452441.1 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102539840A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 方以坤;朱明刚;刘涛;郭朝晖;李卫 | 申请（专利权）人： | 钢铁研究总院 |
| 主分类号： | G01Q60/50 | 分类号： | G01Q60/50;G01Q60/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩芳;张军 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种低磁矩高矫顽力的磁力显微镜探针及其制造方法。所述制造方法包括以下步骤：清洗Si探针；将清洗后的Si探针固定在磁控溅射仪的样品室中，并且将样品室抽真空，此后，通入高纯惰性气体，使样品室的气体压力维持在0.1-0.5帕；通过磁控溅射方式将CoPt磁性合金溅射到Si探针表面，从而得到具有磁性涂层的Si探针；将获得的具有磁性涂层的Si探针在真空条件下加热到500℃-750℃，热处理15-180分钟，使得磁性合金转化为L10-CoPt合金，从而获得低磁矩高矫顽力的磁力显微镜探针。 | ||
| 搜索关键词： | 低磁矩高 矫顽力 磁力 显微镜 探针 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种低磁矩高矫顽力的磁力显微镜探针的制造方法，其特征在于所述制造方法包括以下步骤：清洗Si探针；将清洗后的Si探针固定在磁控溅射仪的样品室中，并且将样品室抽真空，此后，通入高纯惰性气体，使样品室的气体压力维持在0.1‑0.5帕；通过磁控溅射方式将CoPt磁性合金溅射到Si探针表面，从而得到具有磁性涂层的Si探针；将获得的具有磁性涂层的Si探针在真空条件下加热到500℃‑750℃，热处理15‑180分钟，使得磁性合金转化为L10‑CoPt合金，从而获得低磁矩高矫顽力的磁力显微镜探针。
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