[发明专利]一种离子注入机自动建立束线与靶室高真空的方法

摘要

本发明公开了一种离子注入机自动建立束线与靶室高真空的方法，主要包括：检测通信是否正常(1)、检测是否高真空状态(2)、高真空未建立(3)、检测水电气是否正常(4)、关所有阀门(5)、开干泵RP2和差分抽气泵RP1(6)、检测冷泵是否制冷完成(8)、开粗抽阀V8(9)、关粗抽阀V8，开阀门V61s、分子泵TP3、WP3和源干泵RP3(10)、检测源分子泵TP1是否开启(11)、低规G15和G18值都小于1(15)、开分子泵TP2(17)、开冷泵隔离阀和高规除气(18)、高真空建立成功(20)、状态错误(21)、提示错误进入手动模式(22)、高真空建立失败(23)。

主权项

一种离子注入机自动建立束线与靶室高真空的方法，包括：检测通信是否正常(1)、检测束线与靶室是否高真空状态(2)、束线与靶室高真空未建立(3)、检测水电气是否正常(4)、关束线与靶室的所有阀门(5)、开干泵RP2和差分抽气泵RP1(6)、冷泵制冷，等待完成(7)、检测冷泵是否制冷完成(8)、开粗抽阀V8(9)、关粗抽阀V8，开阀门V61s、分子泵TP3、WP3和源干泵RP3(10)、检测源分子泵TP1是否开启(11)、关阀门V46，开阀门V53(12)、关阀门V46，开阀门V53(13)、关阀门V53，开阀门V46(14)、低规G15和G18值都小于1(15)、开阀门V46和V53(16)、开分子泵TP2(17)、开冷泵隔离阀，高规除气(18)、除其完成，开高规(19)、束线与靶室高真空建立成功(20)、状态错误(21)、提示错误进入手动模式(22)、束线与靶室高真空建立失败(23)。