[发明专利]一种离子注入机自动建立束线与靶室高真空的方法

权利要求书

1.一种离子注入机自动建立束线与靶室高真空的方法，包括：检测通信是否正常(1)、检测束线与靶室是否高真空状态(2)、束线与靶室高真空未建立(3)、检测水电气是否正常(4)、关束线与靶室的所有阀门(5)、开干泵RP2和差分抽气泵RP1(6)、冷泵制冷，等待完成(7)、检测冷泵是否制冷完成(8)、开粗抽阀V8(9)、关粗抽阀V8，开阀门V61s、分子泵TP3、WP3和源干泵RP3(10)、检测源分子泵TP1是否开启(11)、关阀门V46，开阀门V53(12)、关阀门V46，开阀门V53(13)、关阀门V53，开阀门V46(14)、低规G15和G18值都小于1(15)、开阀门V46和V53(16)、开分子泵TP2(17)、开冷泵隔离阀，高规除气(18)、除其完成，开高规(19)、束线与靶室高真空建立成功(20)、状态错误(21)、提示错误进入手动模式(22)、束线与靶室高真空建立失败(23)。

2.如权利要求1所述的一种离子注入机自动建立束线与靶室高真空的方法，其特征在于：制定了一个系统全面的流程，根据设备当前不同的状态，进入不同的流程判断，满足相应条件后才能进入下一个阶段，能够安全快速地自动建立源高真空。

3.如权利要求1所述的一种离子注入机自动建立束线与靶室高真空的方法，其特征在于：每个过程阶段都有相应的条件判断，把设备可能出现的状态，全部都考虑了进去，避免了因考虑不周全，存有漏洞，而造成对设备的损坏。

4.如权利要求1所述的一种离子注入机自动建立束线与靶室高真空的方法，其特征在于：自动过程中如果出现状态错误(12)的问题，会提示错误进入手动模式(13)，自动建立束线与靶室高真空终止，只有再次启动自动建立束线与靶室高真空，才能进入自动流程模式，这样设计的目的：一是保护设备；二是这种情况大部分非软件问题，一般是硬件、结构等其他问题，让用户手动处理，可以节约时间，提高效率。