[发明专利]一种离子源的辅助安装和拆卸装置无效

专利信息
申请号: 201110452438.X 申请日: 2011-12-30
公开(公告)号: CN103182698A 公开(公告)日: 2013-07-03
发明(设计)人: 赵叶军 申请(专利权)人: 北京中科信电子装备有限公司
主分类号: B25B27/14 分类号: B25B27/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 101111 北京市中关村科*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种离子源的辅助安装和拆卸装置。主要包括:滑杆(1)、线性轴承(2)、轴承安装座(3)、离子源(4)和源安装法兰(5)等。其特征在于,滑杆(1)安装在源安装法兰(5)上,通过线性轴承(2)与滑杆(1)之间的相对滑动间接的带动离子源(4)在滑杆(1)上滑动,从而保证离子源上重要零部件在安装和拆卸过程中不被损坏以及保证离子源在安装过程中的定位准确。说明书对该装置工作原理进行了详细的说明,并给出了具体的实施方案。
搜索关键词: 一种 离子源 辅助 安装 拆卸 装置
【主权项】:
一种离子源的辅助安装和拆卸装置,该装置主要包括:滑杆(1)、线性轴承(2)、轴承安装座(3)、离子源(4)和源安装法兰(5)等。
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