[发明专利]一种离子源的辅助安装和拆卸装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体制造装备离子注入机中离子源的辅助安装和拆卸装置，特别适合于半导体工艺设备中的离子注入机。

技术背景

离子源是离子注入机的一个重要部件，其作用在于使需要注入的物质(如硼、磷、砷)的原子电离成为离子，其性能好坏对整机的性能影响极大，尤其对束流的强度、品质、束流能量及整机注入的稳定性有着决定性的影响。离子源的性能，除与使气体电离产生离子的灯丝电源、偏压电源和弧压电源有关外，还与本身的结构设计有极大关系。带状束流离子源要求从离子源发出的离子束具有较大的宽度，本专利所涉及的离子源束流宽度超过了300mm，为了使离子源产生较为均匀的束流，满足集成电路工艺和生产的要求，需保证离子源的结构设计最近合理性。

发明内容

本发明涉及一种半导体制造装备离子注入机中离子源的辅助安装和拆卸装置，能可靠保证离子源上重要零部件在安装和拆卸过程中不被损坏以及保证离子源在安装过程中的定位准确。本发明通过以下方案实现：

1.一种离子源的辅助安装和拆卸装置，该装置主要包括：滑杆(1)、线性轴承(2)、轴承安装座(3)、离子源(4)和源安装法兰(5)等。

2.如权利要求1所述的一种离子源的辅助安装和拆卸装置该，装置特征在于，滑杆(1)和线性轴承(2)之间可以实现相对滑动，通过线性轴承(2)与滑杆(1)之间的相对滑动间接的带动离子源(4)在滑杆(1)上滑动。

本发明有以下几个显著特点：

1.可以有效的保护离子源上的零部件在装配和拆卸过程中不被损坏，并且可以实现在安装时的定位准确；

2.结构简单，便于加工制造。

附图说明

图1为一种离子源的辅助安装和拆卸装置的立体图。

图2为一种离子源的辅助安装和拆卸装置的立体的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。

如图1和图2所示，该装置主要包括：滑杆(1)、线性轴承(2)、轴承安装座(3)、离子源(4)和源安装法兰(5)等。

滑杆(1)通过螺纹连接固定在源安装法兰(5)，轴承安装座(3)位于离子源(4)上，轴承安装座(3)和线性轴承(2)之间通过过盈配合联接，线性轴承(2)和滑杆(1)之间可以相对滑动，通过线性轴承(2)与滑杆(1)之间的相对滑动间接的带动离子源(4)在滑杆(1)上滑动。滑杆(1)采用强度和硬度高的材料制造，且表面光滑。

本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。