[发明专利]一种平面高精度平行度的检测装置无效
| 申请号： | 201110451097.4 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102538714A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 鱼卫星;王二伟;王成;孙强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种平面高精度平行度的检测装置，包括：平面干涉测量装置，其可以对第一待测面与第二待测面之间的平行度进行激光平面干涉测量；移相装置，其可以将所述第二待测面在光路方向上移动；所述第一待测面为半反半透的待测面，所述第二待测面为全反射的待测面，在光路上，所述第一待测面位于所述第二待测面之前。本发明的平面高精度平行度的检测装置，利用将激光平面干涉测量技术与移相干涉技术相结合，大幅度的提高激光平面干涉测量技术的精确度，从而可以对平面高精度平行度进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 高精度 平行 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种平面高精度平行度的检测装置，其特征在于，包括：平面干涉测量装置，其可以对第一待测面与第二待测面之间的平行度进行激光平面干涉测量；移相装置，其可以将所述第二待测面在光路方向上移动；所述第一待测面为半反半透的待测面，所述第二待测面为全反射的待测面，在光路上，所述第一待测面位于所述第二待测面之前。
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