[发明专利]一种平面高精度平行度的检测装置

权利要求书

1.一种平面高精度平行度的检测装置，其特征在于，包括：

平面干涉测量装置，其可以对第一待测面与第二待测面之间的平行度进行激光平面干涉测量；

移相装置，其可以将所述第二待测面在光路方向上移动；

所述第一待测面为半反半透的待测面，所述第二待测面为全反射的待测面，在光路上，所述第一待测面位于所述第二待测面之前。

2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述平面干涉测量装置为平面斐索干涉仪。

3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述移相装置包括：

PZT压电陶瓷，其与所述第二待测面相连，用来调整所述第二待测面在光路上的位置；

驱动电路，其用来控制所述PZT压电陶瓷的工作；

控制电路，其用来控制所述驱动电路的工作；

检测电路，其用来检测所述PZT压电陶瓷的位置；

电源电路，其用来对驱动电路，控制电路，检测电路进行供电。

4.如权利要求1-3任一所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置中还包括信息采集处理装置，其包括：

探测器，其用来接收激光平面干涉测量得到的干涉信息；

信息采集卡，其用来采集所述探测器探测到的信息；

PC机，其用来处理信息采集卡采集到的信息。