[发明专利]带有矩形电感耦合线圈的刻蚀装置有效
| 申请号： | 201110443196.8 | 申请日： | 2011-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103177920A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 张城龙;张海洋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;顾珊 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种等离子体刻蚀装置，包括：刻蚀腔、感应线圈、抽气装置、静电吸盘，上电极板和下电极板，所述感应线圈和上电极板位于所述刻蚀腔上部，所述电极板位于所述刻蚀腔下部，下电极板位于静电吸盘内部，其特征在于所述感应线圈为矩形。所述感应线圈为矩形，长宽比优选为2∶1。在刻蚀过程中，以能产生均匀感应电场分布的矩形线圈来取代常规的螺旋线线圈，可以减小晶圆中心区域和边缘区域的气体分布和刻蚀环境的差异，提高晶圆表面的刻蚀均匀性，提高了半导体器件的良品率，并且矩形的反应腔体可以同时对两片晶圆进行刻蚀，大大提高了刻蚀装置处理能力，从而提高半导体器件制造的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 矩形 电感 耦合 线圈 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体刻蚀装置，包括：刻蚀腔、感应线圈、抽气装置、静电吸盘，上电极板和下电极板，所述感应线圈和上电极板位于所述刻蚀腔上部，所述电极板位于所述刻蚀腔下部，下电极板位于静电吸盘内部，其特征在于所述感应线圈为矩形。
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