[发明专利]微结构加工方法在审
| 申请号： | 201110440960.6 | 申请日： | 2011-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103173725A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 刘若鹏;赵治亚;法布里齐亚·盖佐;金晶 | 申请（专利权）人： | 深圳光启高等理工研究院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/14 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种加工超材料的微结构方法，该方法利用蒸发镀膜装置，将附有图案化的掩膜板的超材料基片设置在蒸发源前，而将蒸发物质设置在蒸发源上；然后将蒸发镀膜装置的真空室抽成高真空；接着加热蒸发源达预定温度后经预定时间断开；最后从超材料基片上揭去掩膜板而得到所需要的金属微结构。根据本发明的方法来加工微结构，可大大提高铜箔与基片的结合力并大大节省了铜金属的用量，并且可以大批量高效率进行超材料的批量化加工生产。 | ||
| 搜索关键词： | 微结构 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种微结构加工方法，该方法利用蒸发镀膜装置，包括以下步骤：a、获取超材料基片；b、获取图案化的掩膜板；c、将图案化的掩膜板覆盖在超材料基片上；d、将超材料基片放置在蒸发源前方，并将蒸发物质放置在蒸发源上；e、将蒸发镀膜装置的真空室抽成高真空；f、使蒸发源加热至预定温度进行蒸发，经预定时间后停止蒸发；g、从超材料基片上揭去掩膜板即得到所需要的金属微结构。
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