[发明专利]垂直式热处理炉结构有效
| 申请号： | 201110412421.1 | 申请日： | 2011-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103122448A | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 萧盈诗;吉村俊秋 | 申请（专利权）人： | 核心能源实业有限公司;吉村俊秋 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/58;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种垂直式热处理炉结构，包括：一外炉体、一内炉体、一加热机构、一供气机构，及一控制机构，通过控制机构控制进气量可有效使得，内炉体外侧流动空间中第一压力(P1)，始终大于内炉体内侧反应空间中第二压力(P2)。通过此设计可使得反应气体流速可加快，增快薄膜反应速率，且提升膜质均匀度，同时也可提升降温速率，增加操作安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 热处理 结构 | ||
【主权项】：
一种垂直式热处理炉结构，包括：一外炉体，具有一外壁及一内壁所形成的第一容置空间，并具有一第一侧边及相对该第一侧边的一第二侧边，且于该第一侧边形成该第一容置空间的开口，而该第二侧边为一个封闭面；一个内炉体，是间隔地固设于该外炉体的第一容置空间中，该内炉体有一外侧壁及一内侧壁所形成的第二容置空间，并具有一第三侧边及相对该第三侧边的一第四侧边，部分该第三侧边由一个下封闭面与该第一侧边连接，使得第三侧边形成一个第二容置空间的开口，而该第四侧边为一个封闭面，其中，该内炉体的外侧壁与该外炉体的内壁间形成一个气体流动空间，且于该内炉体的内侧壁中形成一个反应空间；一闸门，具有外表面及内表面，通过该内表面与该第三侧边的该第二容置空间的开口接触后，使得该气体流动空间与该反应空间各自形成独立的空间。
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