[发明专利]金属有机物磊晶薄膜的制造方法

摘要

本发明提供一种金属有机物磊晶薄膜的制造方法，该方法是在内预置有晶圆基板及α射线的密闭空间内，进行以下步骤，包括：抽真空步骤，对该空间进行抽真空，并维持在超真空环境；燃烧步骤，于前述抽真空过程将强酸物质吸入该空间内，并对该空间施予高压，借真空放电原理令该强酸物质瞬间燃烧；形成步骤，前述瞬间燃烧持续一段时间，借热升华纯化为完整的气体，令该强酸物质进一步利用高压的电位差开始放电，将热升华纯化所形成气体的分子的电子与原子核，透过该晶圆基板将其中的电子分开，并产生结晶体获得质量，有序均匀地埋入该晶圆基板上，形成磊晶薄膜，通过上述方法不仅不良率低、提高产能与质量，还有效地缩小所需设备面积及降低成本。

主权项

一种金属有机物磊晶薄膜的制造方法，其特征在于，该方法是在内预置有晶圆基板及α射线的密闭空间内，进行以下步骤，包括：抽真空步骤，对该密闭空间进行抽真空，并维持在超真空环境；燃烧步骤，于前述抽真空过程将强酸物质吸入该密闭空间内，并对该密闭空间施予高压，借真空放电原理令该强酸物质瞬间燃烧，并达瞬间化学温度至少1100度；形成步骤，将前述瞬间燃烧持续一段时间，借热升华将该强酸物质纯化为完整的气体，令该强酸物质在超真空与高压环境下开始放电，借高压电位差将热升华纯化所形成气体的分子的电子与原子核，透过该晶圆基板将其中的电子分开，并产生结晶体获得质量，有序均匀地埋入该晶圆基板上，形成磊晶薄膜。