[发明专利]金属有机物磊晶薄膜的制造方法

权利要求书

1.一种金属有机物磊晶薄膜的制造方法，其特征在于，该方法是在内预置有晶圆基板及α射线的密闭空间内，进行以下步骤，包括：

抽真空步骤，对该密闭空间进行抽真空，并维持在超真空环境；

燃烧步骤，于前述抽真空过程将强酸物质吸入该密闭空间内，并对该密闭空间施予高压，借真空放电原理令该强酸物质瞬间燃烧，并达瞬间化学温度至少1100度；

形成步骤，将前述瞬间燃烧持续一段时间，借热升华将该强酸物质纯化为完整的气体，令该强酸物质在超真空与高压环境下开始放电，借高压电位差将热升华纯化所形成气体的分子的电子与原子核，透过该晶圆基板将其中的电子分开，并产生结晶体获得质量，有序均匀地埋入该晶圆基板上，形成磊晶薄膜。

2.如权利要求1所述的金属有机物磊晶薄膜的制造方法，其特征在于，所述晶圆基板是采用有机金属的硅元素晶柱，该有机金属为：氧化铝、氮化铝、砷化铝、砷化镓、或氮化镓。

3.如权利要求1所述的金属有机物磊晶薄膜的制造方法，其特征在于，所述抽真空步骤中的超真空环境为负2个大气压。

4.如权利要求1所述的金属有机物磊晶薄膜的制造方法，其特征在于，所述强酸物质为四氧化锇。

5.如权利要求1所述的金属有机物磊晶薄膜的制造方法，其特征在于，所述燃烧步骤中所施予的高压为14万伏特，10mA。

6.如权利要求1所述的金属有机物磊晶薄膜的制造方法，其特征在于，所述形成步骤中瞬间燃烧持续时间视磊晶的晶圆尺寸而定，晶圆为2英寸时，瞬间燃烧持续16秒，晶圆为4英寸时，瞬间燃烧持续30秒。