[发明专利]在钻石基板上形成的磊晶层结构及其制造方法无效
申请号: | 201110394657.7 | 申请日: | 2011-12-02 |
公开(公告)号: | CN103137801A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 李家铭;叶念慈;张翔思;吕元杰 | 申请(专利权)人: | 泰谷光电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/32;H01L33/00;H01S5/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 于辉 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明关于一种在钻石基板上形成的多个磊晶层的结构,该结构包括:钻石基板;界面层,其形成在该钻石基板一侧,该界面层具有多晶或非晶结构;多个磊晶层,其形成在该界面层上,该多个磊晶层依次包括缓冲层、n型半导体层、发光层、及p型半导体层,其中,该n型半导体层为部分暴露;多个电极,该多个电极包括n型电极和p型电极,且该n型电极与该n型半导体层接触,而该p型电极与p型半导体层接触。此外,本发明还提供在钻石基板上形成多个磊晶层结构的方法。 | ||
搜索关键词: | 钻石 基板上 形成 磊晶层 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种在钻石基板上形成的多个磊晶层的结构,包括:钻石基板;界面层,其形成在该钻石基板一侧,该界面层具有多晶或非晶结构;多个磊晶层,其形成该界面层上,该多个磊晶层依次包括缓冲层、n型半导体层、发光层、和p型半导体层,其中,该n型半导体层为部分暴露;多个电极,该多个电极包括n型电极和p型电极,且该n型电极与该n型半导体层接触,而该p型电极与p型半导体层接触。
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