[发明专利]基片上料组件、基片装卸载装置和PECVD设备

摘要

本发明公开了一种基片上料组件、基片装卸载装置和PECVD设备，所述基片上料组件包括：料盒，所述料盒内具有用于存放基片的盒腔，所述基片在盒腔内适于沿料盒的上下方向排列成多层且沿料盒的左右方向排列成多排；上料传送带，所述上料传送带用于传送所述基片；和上料机械手，所述上料机械手具有支架、手臂和多个基片吸附件，所述手臂的一端与所述支架相连，所述多个基片吸附件设在所述手臂上且沿所述手臂的长度方向间隔开以便所述上料机械手能够从所述料盒内同一层的多排基片中同时吸附出多个基片放置到所述上料传送带上。根据本发明实施例的基片上料组件，可以提高上料效率，从而提高整体的工作效率。

主权项

一种基片上料组件，其特征在于，包括：料盒，所述料盒内具有用于存放基片的盒腔，所述基片在盒腔内适于沿料盒的上下方向排列成多层且沿料盒的左右方向排列成多排；上料传送带，所述上料传送带用于传送所述基片；和上料机械手，所述上料机械手具有支架、手臂和多个基片吸附件，所述手臂的一端与所述支架相连，所述多个基片吸附件设在所述手臂上且沿所述手臂的长度方向间隔开以便所述上料机械手能够从所述料盒内同一层的多排基片中同时吸附出多个基片放置到所述上料传送带上。