[发明专利]一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法有效
| 申请号： | 201110392803.2 | 申请日： | 2011-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102503155B | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 钱林茂;宋晨飞;周仲荣;余丙军;陈磊;郭剑 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;B81C1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 成都博通专利事务所51208 | 代理人： | 陈树明 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法，主要应用于玻璃表面微纳米结构的加工。其具体操作方法是将尖端为球状的探针安装在原子力显微镜上，将清洗过的玻璃固定在样品台上，启动原子力显微镜，给探针施加定载荷F或者变载荷F′，并使探针沿着设定的扫描轨迹，循环次数N和扫描速率v在玻璃表面进行扫描；扫描后将玻璃置于质量浓度为10‑20％的HF溶液中，腐蚀5‑10秒，即可。该方法不需要模版或掩膜，单次腐蚀就能在玻璃表面加工斜面、台阶、阵列等三维纳米图案；其加工流程极其简便，腐蚀速率极快，是一种简单、精确、高效的玻璃表面的纳米加工方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 摩擦 诱导 选择性 刻蚀 玻璃 表面 纳米 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法，其具体操作方法是：A、将尖端为球状的扫描探针安装在原子力显微镜上，将清洗过的玻璃固定在样品台上，启动原子力显微镜，给探针施加定载荷F，或者变载荷F'，并使探针按照设定的扫描轨迹、扫描循环次数N和扫描速率v在玻璃表面进行扫描；所述的变载荷F'的最大值和定载荷F均不高于临界载荷Fc；所述的玻璃含有金属阳离子，能够和HF溶液产生化学作用，在刻划区域生成难溶于HF溶液的产物；B、将扫描后的玻璃置于质量浓度为10‑20％的HF溶液中，腐蚀5‑15秒，即可。
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