[发明专利]一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法

权利要求书

1.一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法，其具体操作方法是：

A、将尖端为球状的扫描探针安装在原子力显微镜上，将清洗过的玻璃固定在样品台上，启动原子力显微镜，给探针施加定载荷F，或者变载荷F'，并使探针按照设定的扫描轨迹、扫描循环次数N和扫描速率v在玻璃表面进行扫描；所述的变载荷F'的最大值和定载荷F均不高于临界载荷F_c；所述的玻璃含有金属阳离子，能够和HF溶液产生化学作用，在刻划区域生成难溶于HF溶液的产物；

B、将扫描后的玻璃置于质量浓度为10-20％的HF溶液中，腐蚀5-15秒，即可。

2.根据权利要求1所述的一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法，其特征在于：所述的探针的扫描轨迹为正方形面扫描。

3.根据权利要求2所述的一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法，其特征在于：所述的扫描载荷为变载荷，扫描的循环次数为1次。

4.根据权利要求2所述的一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法，其特征在于：所述的探针的扫描载荷为定载荷，扫描的循环次数为2次以上，且后次扫描比前次扫描的面积更小，但扫描中心一致。

5.根据权利要求2所述的一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法，其特征在于：所述的扫描载荷为定载荷，扫描的循环次数为2次以上，且后次扫描与前次扫描的面积相同，但扫描中心不一致。

6.根据权利要求1所述的一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法，其特征在于：所述的探针的扫描轨迹为面扫描，扫描载荷为定载荷，扫描的循环次数为1次。