[发明专利]一种密封式加速度计

摘要

本发明提供一种密封性能可靠的加速度计，包括表头、混合集成电路、电路工艺孔压盖，混合集成电路内布置有两个可实现电路与表头电气连接的电路工艺孔，在电路工艺孔上依次填放绝缘片和电路工艺孔压盖，所述电路工艺孔压盖激光焊接密封在混合集成电路的电路工艺孔内，所述混合集成电路与表头之间激光焊接密封。本发明通过在现有加速度计基础上增加激光焊接密封设计，解决加速度计在不同环境压强下的内部气体泄漏问题，提高加速度计的整体密封性能，增强加速度计的环境适应性。密封后的漏率小于5.0×10-10Pa.m3/s。

主权项

一种密封式加速度计，包括表头(1)、混合集成电路(2)、电路工艺孔压盖(3)，其中，混合集成电路(2)由电路管座及其内部封装的电子元器件构成，混合集成电路(2)内布置有两个可实现电路与表头(1)电气连接的电路工艺孔(5)，在电路工艺孔(5)上依次填放绝缘片(4)、电路工艺孔压盖(3)，其特征在于，所述电路工艺孔压盖(3)激光焊接密封在混合集成电路(2)的电路工艺孔(5)内，所述混合集成电路(2)与表头(1)之间激光焊接密封。