[发明专利]一种电可调式RLC串、并联MEMS谐振器

摘要

本发明公开一种电可调式RLC串、并联MEMS谐振器，包括：可变电阻，可变电感以及固定电容。可变电阻由多匝线圈组成，在每一个线圈都引出信号线，所述的可变电感采用螺旋形结构，螺旋结构采用矩形截面，每个螺旋单元分为两层，上层斜梁通过支撑柱子与下层横梁保持悬空和电连接，上层斜梁和上层横梁构成一个线圈，电感由多匝线圈构成，每个单元都引出信号传输线。电容由上电极和下电极，上电极通过柱子与下电极保持悬空，电极和柱子之间通过横梁来连接，下电极和上电极分别引出信号传输线。本发明在不增加工艺复杂程度的同时通过MEMS工艺来加工完成，通过减小电阻丝的匝数和电感线圈的匝数来实现电阻和电感变化。

主权项

一种可调式RLC串、并联MEMS谐振器，包括：可变电阻，可变电感，以及固定电容，其特征在于：所述可变电阻由多匝线圈组成，在每一个线圈都引出信号线，通过接入不同的线圈匝数来控制电阻的大小；所述的可变电感采用螺旋形结构，螺旋结构采用矩形截面，每个螺旋单元分为两层，上层斜梁通过支撑柱子与下层横梁保持悬空和电连接，上层斜梁和上层横梁构成一个线圈，电感由多匝线圈构成，每个单元都引出信号传输线，通过接入不用的匝数控制电感的大小；所述电容采用固定电容设计，由上电极和下电极，上电极通过柱子与下电极保持悬空，电极和柱子之间通过横梁来连接，下电极和上电极分别引出信号传输线。