[发明专利]一种电可调式RLC串、并联MEMS谐振器

权利要求书

1.一种可调式RLC串、并联MEMS谐振器，包括：可变电阻，可变电感，以及固定电容，其特征在于：所述可变电阻由多匝线圈组成，在每一个线圈都引出信号线，通过接入不同的线圈匝数来控制电阻的大小；

所述的可变电感采用螺旋形结构，螺旋结构采用矩形截面，每个螺旋单元分为两层，上层斜梁通过支撑柱子与下层横梁保持悬空和电连接，上层斜梁和上层横梁构成一个线圈，电感由多匝线圈构成，每个单元都引出信号传输线，通过接入不用的匝数控制电感的大小；

所述电容采用固定电容设计，由上电极和下电极，上电极通过柱子与下电极保持悬空，电极和柱子之间通过横梁来连接，下电极和上电极分别引出信号传输线。

2.根据权利要求1所述的可调式RLC串、并联MEMS谐振器，其特征在于，所述的可变电阻的电阻丝采用多匝长方形电阻丝，且为了保证电阻丝连续性变化，在设定的范围内，匝数越大越大好，每一匝之间的距离越小越好。

3.根据权利要求1或2所述的可调式RLC串、并联MEMS谐振器，其特征在于，所述的可变电感为立体结构，采用截面矩形设计，匝数越大越好，每一匝之间的距离越小越好，上层线圈和下层线圈的横截面积越大越好。

4.根据权利要求3所述的可调式RLC串、并联MEMS谐振器，其特征在于，所述的可变电感上层线圈采用加厚设计保证刚度来抵制工作产生的变形。

5.根据权利要求1所述的可调式RLC串、并联MEMS谐振器，其特征在于，所述的固定电容，其电容极板采用正方形，且两个极板之间的距离为5μm。

6.根据权利要求1或5所述的可调式RLC串、并联MEMS谐振器，其特征在于，所述的固定电容上电极采用T型梁来作为支撑，且为了使谐振器在工作时的稳定，T型梁和上电极采用高厚度设计以保证足够的刚度。

7.根据权利要求1所述的可调式RLC串、并联MEMS谐振器，其特征在于，所述谐振器采用标准的MEMS工艺中的光刻、溅射、电镀、腐蚀技术来实现的，悬空结构采用牺牲层技术来实现的。

8.根据权利要求1或7所的述可调式RLC串、并联MEMS谐振器，其特征在于所述谐振器是基于玻璃基底加工出来的。

9.根据权利要求1或7所的述可调式RLC串、并联MEMS谐振器，其特征在于，所述可变电阻，可变电感和固定电容均采用MEMS工艺中的电镀来形成的，材料是镍，铜，在信号传输线的表面镀一层薄薄的金，便于焊接。

10.根据权利要求1或7所述的可调式RLC串、并联MEMS谐振器，其特征在于，采用牺牲层技术制作悬空结构。