[发明专利]钛锆氧化物固溶体纳米线阵列紫外光探测器及其制备方法

摘要

本发明具体涉及一种以透明导电玻璃为衬底，以ZrxTi1-xO2固溶体纳米线阵列为基体，以Ag或Au为金属电极的肖特基结构光伏型半导体紫外光电探测器及其制备方法。首先采用低温极性界面水解法制备不同配比的ZrxTi1-xO2固溶体纳米线阵列，以Ag浆或者Au浆在纳米线阵列上制作电极，经过烘干后即可得到工艺简单、低成本、高性能的肖特基结构紫外探测器。通过调整ZrxTi1-xO2固溶体内部元素的不同配比，可以改变基体材料的紫外吸收边，进而制作出响应峰值在250nm到380nm紫外波段范围内可调的紫外探测器。

主权项

一种ZrxTi1‑xO2固溶体纳米线阵列紫外光探测器，其特征在于：依次由透明导电玻璃衬底(4)、采用低温极性界面水解法在衬底(4)上直接生长的一维ZrxTi1‑xO2纳米线阵列(2)、在纳米线阵列(2)上直接制备的Ag或Au金属电极(1)构成，待探测的紫外光(3)从透明导电玻璃衬底(4)的一侧入射。