[发明专利]钛锆氧化物固溶体纳米线阵列紫外光探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种Zr_xTi_1-xO₂固溶体纳米线阵列紫外光探测器，其特征在于：依次由透明导电玻璃衬底(4)、采用低温极性界面水解法在衬底(4)上直接生长的一维Zr_xTi_1-xO₂纳米线阵列(2)、在纳米线阵列(2)上直接制备的Ag或Au金属电极(1)构成，待探测的紫外光(3)从透明导电玻璃衬底(4)的一侧入射。

2.如权利要求1所述的Zr_xTi_1-xO₂固溶体纳米线阵列紫外光探测器，其特征在于：透明导电玻璃衬底(4)的厚度为2～3mm，一维Zr_xTi_1-xO₂纳米线阵列(2)的厚度为1～3μm，一维Zr_xTi_1-xO₂纳米线材料中Zr与Ti的摩尔比为0.01～1∶1；金属电极(1)的有效面积为1～5mm²，厚度为500～1000μm。

3.如权利要求1或2所述的Zr_xTi_1-xO₂固溶体纳米线阵列紫外光探测器的制备方法，其步骤如下：

(1)衬底的处理

首先分别用丙酮、乙醇棉球擦拭透明导电玻璃衬底，再将衬底依次置于丙酮、乙醇和去离子水中，分别超声清洗5～8分钟，最后用氮气吹干；

(2)一维Zr_xTi_1-xO₂固溶体纳米线阵列的制备

采用低温极性界面水解法制备一维Zr_xTi_1-xO₂固溶体纳米线阵列；

(3)制备Ag或Au金属电极

将Ag浆或Au浆直接粘到一维Zr_xTi_1-xO₂固溶体纳米线阵列表面，引出电极引线，然后将器件至于烘箱中，在100～150℃烘干5～15分钟，即得到带有金属电极的肖特基结构的Zr_xTi_1-xO₂纳米线阵列紫外光探测器。

4.如权利要求3所述的Zr_xTi_1-xO₂固溶体纳米线阵列紫外光探测器的制备方法中，其特征在于：步骤(2)所述的采用低温极性界面水解法制备一维Zr_xTi_1-xO₂固溶体纳米线阵列，是在室温条件下将5～20ml甲苯加入到20～40ml的聚四氟乙烯反应釜中，将1～2ml锆酸四丁酯和钛酸四丁酯的混合溶液加入到甲苯溶剂中，其中Zr与Ti的摩尔比为0.01∶1～1∶1，然后用注射器加入0.1～0.5ml的四氯化钛，接着加入1～2ml浓盐酸或醋酸水溶液，将经上述步骤处理过的透明导电玻璃衬底倒置在反应釜中，最后将反应釜置于120～200℃的反应室中密封2～8小时，从而在透明导电衬底上低温生长出Zr_xTi_1-xO₂纳米线阵列；反应釜自然降温3～5小时，得到结晶良好、平整、紧密的一维Zr_xTi_1-xO₂固溶体纳米线阵列，将已生长好的纳米线阵列从反应釜中取出，静置干燥后放入干燥塔中保存。