[发明专利]液相自组装法制备铜酸镧(La2CuO4)薄膜的方法有效

专利信息
申请号: 201110375952.8 申请日: 2011-11-23
公开(公告)号: CN102503559A 公开(公告)日: 2012-06-20
发明(设计)人: 黄剑锋;李意峰;李碧;曹丽云;吴建鹏 申请(专利权)人: 陕西科技大学
主分类号: C04B41/52 分类号: C04B41/52
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 陆万寿
地址: 710021 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 液相自组装法制备铜酸镧薄膜的方法,将硅基片用硝酸冲洗,然后依次放入盛有丙酮、乙醇的烧杯中,分别用超声波清洗器清洗,再用蒸馏水冲洗后,干燥得基片A;将基片A在紫外线照射仪中照射后放在十八烷基三氯硅烷与甲苯的混合溶液中,再用丙酮清洗,然后用N2吹干,再放入紫外线照射仪中,用紫外线照射得基片B;将硝酸镧,硝酸铜和柠檬酸混合得溶液,向该溶液中加入冰醋酸得溶液C,将基片B垂直立在溶液C中恒温沉积;将沉积好的基片用蒸馏水清洗,干燥后,放入马弗炉中煅烧即得La2CuO4薄膜。本发明采用液相自组装法制备La2CuO4薄膜,制得的La2CuO4薄膜晶粒尺寸较小,并且不含杂质,且反应过程易于控制,设备要求低,操作简单。
搜索关键词: 组装 法制 备铜酸镧 la sub cuo 薄膜 方法
【主权项】:
液相自组装法制备铜酸镧(La2CuO4)薄膜的方法,其特征在于:1)基片的清洗:将切割好的硅基片用硝酸冲洗,然后依次放入盛有丙酮、乙醇的烧杯中,分别用超声波清洗器清洗,再用蒸馏水冲洗后,在50℃~100℃的鼓风干燥箱中烘干得基片A;2)OTS镀膜:将烘干的基片A在紫外线照射仪中照射20min~120min后放在十八烷基三氯硅烷(OTS)与甲苯的混合溶液中20min~40min,取出后用丙酮清洗,然后用N2吹干,再放入紫外线照射仪中,用紫外线照射15min~50min得基片B;其中十八烷基三氯硅烷(OTS)与甲苯的混合溶液为十八烷基三氯硅烷(OTS)∶甲苯=1∶99的体积比;3)薄膜的沉积将分析纯的硝酸镧(La(NO3)3·6H2O),硝酸铜(Cu(NO3)3·3H2O),柠檬酸(C6H8O7·H2O)按2∶1∶(0.4~2.8)的摩尔比配制成50ml~80ml的La(NO3)3浓度为0.5~2mol/L的溶液,再向该溶液中加入0.5ml~4ml的冰醋酸得溶液C,将基片B垂直立在溶液C中,用保鲜膜封好后,放在干燥箱中,于50℃~80℃恒温沉积;4)薄膜的煅烧将沉积好的基片用蒸馏水清洗,干燥后,放入马弗炉中,以3℃/min~5℃/min的升温速率在450℃~800℃下煅烧1h~7h,随炉冷却至室温,即得La2CuO4薄膜。
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