[发明专利]液相自组装法制备铜酸镧(La2CuO4)薄膜的方法有效
申请号: | 201110375952.8 | 申请日: | 2011-11-23 |
公开(公告)号: | CN102503559A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 黄剑锋;李意峰;李碧;曹丽云;吴建鹏 | 申请(专利权)人: | 陕西科技大学 |
主分类号: | C04B41/52 | 分类号: | C04B41/52 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陆万寿 |
地址: | 710021 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组装 法制 备铜酸镧 la sub cuo 薄膜 方法 | ||
1.液相自组装法制备铜酸镧(La2CuO4)薄膜的方法,其特征在于:
1)基片的清洗:
将切割好的硅基片用硝酸冲洗,然后依次放入盛有丙酮、乙醇的烧杯中,分别用超声波清洗器清洗,再用蒸馏水冲洗后,在50℃~100℃的鼓风干燥箱中烘干得基片A;
2)OTS镀膜:
将烘干的基片A在紫外线照射仪中照射20min~120min后放在十八烷基三氯硅烷(OTS)与甲苯的混合溶液中20min~40min,取出后用丙酮清洗,然后用N2吹干,再放入紫外线照射仪中,用紫外线照射15min~50min得基片B;
其中十八烷基三氯硅烷(OTS)与甲苯的混合溶液为十八烷基三氯硅烷(OTS)∶甲苯=1∶99的体积比;
3)薄膜的沉积
将分析纯的硝酸镧(La(NO3)3·6H2O),硝酸铜(Cu(NO3)3·3H2O),柠檬酸(C6H8O7·H2O)按2∶1∶(0.4~2.8)的摩尔比配制成50ml~80ml的La(NO3)3浓度为0.5~2mol/L的溶液,再向该溶液中加入0.5ml~4ml的冰醋酸得溶液C,将基片B垂直立在溶液C中,用保鲜膜封好后,放在干燥箱中,于50℃~80℃恒温沉积;
4)薄膜的煅烧
将沉积好的基片用蒸馏水清洗,干燥后,放入马弗炉中,以3℃/min~5℃/min的升温速率在450℃~800℃下煅烧1h~7h,随炉冷却至室温,即得La2CuO4薄膜。
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