[发明专利]石墨舟（框）干式清洗机无效
| 申请号： | 201110372202.5 | 申请日： | 2011-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN102397859A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 黄冲;蒋维楠;季高明 | 申请（专利权）人： | 镇江大全太阳能有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 镇江京科专利商标代理有限公司 32107 | 代理人： | 夏哲华 |
| 地址： | 212211 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于硅晶太阳能电池生产设备维护的装置，具体是一种石墨舟（框）干式清洗机。该石墨舟（框）干式清洗机包括有一个内部可安置石墨舟或石墨框的反应腔，反应腔的入口通过进气管与NF3气体源连接，反应腔的出口通过排气管与干式真空泵连接；所述进气管上安装有等离子体发生器。本发明可以利用等离子体氮化硅的反应将石墨舟表面的氮化硅去除，不仅清洗效果好，并且结构简单制造、操作方便、清洗效率高；与传统的湿法槽式清洗相比，清洗过程中不用将石墨舟拆分，不用额外的烘干，效率高并能避免石墨舟的机械损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 清洗 | ||
【主权项】：
一种石墨舟（框）干式清洗机，其特征是：它包括有一个内部可安置石墨舟或石墨框的反应腔（1），反应腔的入口通过进气管（2）与NF（3）气体源连接，反应腔的出口通过排气管与干式真空泵（4）连接；所述进气管上安装有等离子体发生器（5）。
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