[发明专利]石墨舟（框）干式清洗机无效
| 申请号： | 201110372202.5 | 申请日： | 2011-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN102397859A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 黄冲;蒋维楠;季高明 | 申请（专利权）人： | 镇江大全太阳能有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 镇江京科专利商标代理有限公司 32107 | 代理人： | 夏哲华 |
| 地址： | 212211 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种石墨舟（框）干式清洗机，其特征是：它包括有一个内部可安置石墨舟或石墨框的反应腔（1），反应腔的入口通过进气管（2）与NF（3）气体源连接，反应腔的出口通过排气管与干式真空泵（4）连接；所述进气管上安装有等离子体发生器（5）。
2.根据权利要求1所述的石墨舟（框）干式清洗机，其特征是：反应腔入口处设置有匀流板（3）。
3.一种石墨舟（框）干式清洗机，其特征是：它包括有一个内部可安置石墨舟或石墨框的反应腔（1），反应腔的入口通过进气管（2）与NF3气体源连接，反应腔的出口通过排气管与干式真空泵（4）连接；反应腔外设置有射频发生器（6），射频发生器的引出电极连接到反应腔内的石墨舟或石墨框上。
4.根据权利要求3所述的石墨舟（框）干式清洗机，其特征是：反应腔入口处还设置有匀流板（3）。
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