[发明专利]一种调焦调平系统中光斑水平位置调整机构及方法有效
| 申请号： | 201110335483.7 | 申请日： | 2011-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN103091990A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 卢丽荣;李志丹;徐兵 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，包括依次设置的光源、投影单元及接收单元，所述投影单元或接收单元中设有电光偏转器，所述光源发出的光束经过投影单元投射成像到待测硅片上后，由所述接收单元接收经硅片反射后光束的成像信息，并通过控制所述电光偏转器的电压来调整光束穿过所述电光偏转器后的偏转角，从而校正成像光斑在像面上的位置。另，本发明还提供一种调焦调平系统中光斑水平位置调整方法。本发明采用楔形棱镜偏转器的电光偏转技术，具有调整速度快、精度及稳定性较高、结构相对简单的优点，对有限空间更有利。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 系统 光斑 水平 位置 调整 机构 方法 | ||
【主权项】：
一种调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，包括依次设置的光源、投影单元及接收单元，其特征在于：所述投影单元或接收单元中设有电光偏转器，所述光源发出的光束经过投影单元投射成像到待测硅片上后，由所述接收单元接收经硅片反射后光束的成像信息，并通过控制所述电光偏转器的电压来调整光束穿过所述电光偏转器后的偏转角，从而校正成像光斑在像面上的位置。
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