[发明专利]一种调焦调平系统中光斑水平位置调整机构及方法

权利要求书

1.一种调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，包括依次设置的光源、投影单元及接收单元，其特征在于：所述投影单元或接收单元中设有电光偏转器，所述光源发出的光束经过投影单元投射成像到待测硅片上后，由所述接收单元接收经硅片反射后光束的成像信息，并通过控制所述电光偏转器的电压来调整光束穿过所述电光偏转器后的偏转角，从而校正成像光斑在像面上的位置。

2.根据权利要求1所述的调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，其特征在于：所述电光偏转器为楔形棱镜偏转器。

3.根据权利要求1所述的调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，其特征在于：所述投影单元包括依次设置的投影光阑及第一会聚透镜组，所述光源发出的光束经过投影光阑的狭缝，并由第一会聚透镜组成像到硅片面上。

4.根据权利要求1或2所述的调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，其特征在于：所述接收单元包括第二会聚透镜组、第三会聚透镜组、偏振器、探测控制器及设于所述第二会聚透镜组、第三会聚透镜组之间的楔形棱镜偏转器，光束通过所述偏振器后由探测控制器接收，并通过探测控制器控制所述楔形棱镜偏转器的电压来调整光束穿过所述电光偏转器后的偏转角，从而校正成像光斑在像面上的位置。

5.根据权利要求1所述的调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，其特征在于：所述光源包括宽波段光源及准直透镜组，所述宽波段光源可为半导体激光器。

6.根据权利要求5所述的调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，其特征在于：所述光源还可包括一光滤波器。

7.根据权利要求1所述的调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，其特征在于：所述电光偏转器主要由液晶构材料组成，其液晶材料特性满足：0＜n₀3r63＜0.6Dh/Ly V，其中，h为z轴方向上的晶体宽度，L为沿传播方向晶体的长度，r63为电光系数，y为像面离开光楔的距离。

8.根据权利要求1所述的调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，其特征在于：所述电光偏转器还可为电光晶体及双折射晶体组成的数字式偏转器。

9.根据权利要求1所述的调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，其特征在于：所述电光偏转器可为串联的多个楔形棱镜偏转器。

10.一种调焦调平系统中光斑水平位置调整方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：

步骤S1：通过接收探测器记录系统中的光斑水平位置偏移量Δy；

步骤S2：判断Δy是否小于预定值，若Δy小于预定值，则根据光束通过电压偏转器的出射角度偏转公式计算与所述预定值对应的光束出射偏转角度，并由所述偏转角度计算出所述电压偏转器的两端电压值；

步骤S3：根据所述电压值调整电压偏转器的两端电压，使得光束出射偏转角度发生改变，从而调整光斑水平位置偏移量Δy。