[发明专利]具有高反射背电极的薄膜太阳能电池制造方法

摘要

本发明涉及一种薄膜太阳能电池，尤其是适合大规模工业连续在线生产的非晶硅薄膜太阳能电池，属于太阳能电池技术领域。解决如何在不采用过渡层的情况下提高AZO氧化物层与背电极膜层Ag金属反射层附着力的技术难题。本发明改变背电极生产的工艺和装置，在线制备太阳能电池背电极膜层，在氧化物镀膜区与金属镀膜区之间加入等离子清洗工艺，对已形成的氧化物膜层进行清洗，提高膜层清洁度，增加氧悬键，提高氧化物膜层与后续金属膜层之间的附着力，提高了太阳能电池背电极光电性能。

主权项

一种具有高反射背电极的薄膜太阳能电池制造方法，在基板上依序分别制作前电极层、光电转换层、背电极层及每一层对应的图形，其特征在于所述背电极膜层包括在线连续镀膜形成的氧化物膜层和金属反射层，工艺步骤如下： a. 沉积有光电转换层的基片传送至氧化物磁控溅射镀膜区，在光电转换层上镀透明氧化物膜层；b. 将镀有透明氧化物膜层的基片传送至位于氧化物镀膜区与金属膜层镀膜区之间的等离子清洗区，采用等离子放电清洗氧化物膜层表面； c. 经等离子放电清洗氧化物膜层后的基片进入金属镀膜区，磁控溅射镀制金属反射层；d. 在镀制好透明氧化物膜层和金属反射层的背电极层上制作背电极图形。