[发明专利]具有高反射背电极的薄膜太阳能电池制造方法

权利要求书

1.一种具有高反射背电极的薄膜太阳能电池制造方法，在基板上依序分别制作前电极层、光电转换层、背电极层及每一层对应的图形，其特征在于所述背电极膜层包括在线连续镀膜形成的氧化物膜层和金属反射层，工艺步骤如下： 

a. 沉积有光电转换层的基片传送至氧化物磁控溅射镀膜区，在光电转换层上镀透明氧化物膜层；

b. 将镀有透明氧化物膜层的基片传送至位于氧化物镀膜区与金属膜层镀膜区之间的等离子清洗区，采用等离子放电清洗氧化物膜层表面； 

c. 经等离子放电清洗氧化物膜层后的基片进入金属镀膜区，磁控溅射镀制金属反射层；

d. 在镀制好透明氧化物膜层和金属反射层的背电极层上制作背电极图形。

2.根据权利要求1所述的具有高反射背电极的薄膜太阳能电池制造方法，其特征在于所述步骤b是用高偏压进行等离子清洗背电极层的透明氧化物膜层。

3.根据权利要求1所述的具有高反射背电极的薄膜太阳能电池制造方法，其特征在于所述步骤b是用靶材加电压通入氩气进行等离子体清洗背电极层的透明氧化物膜层。

4.根据权利要求1所述的具有高反射背电极的薄膜太阳能电池制造方法，其特征在于所述步骤b是用靶材加电压且通入氩气和氧气的混合气体进行等离子体清洗背电极层的透明氧化物膜层。

5.根据权利要求1所述的具有高反射背电极的薄膜太阳能电池制造方法，其特征在于所述步骤b是用离子源进行等离子体清洗背电极层的透明氧化物膜层。

6.根据权利要求1所述的具有高反射背电极的薄膜太阳能电池制造方法，其特征在于所述背电极层包括AZO透明导电氧化物膜层和金属银导电膜的多级膜层。

7.根据权利要求2所述的具有高反射背电极的薄膜太阳能电池制造方法，其特征在于所述步骤b是采用通入－100V～－300V的负偏压进行等离子清洗背电极层的透明氧化物膜层。

8.根据权利要求1所述的具有高反射背电极的薄膜太阳能电池制造方法，其特征在于所述步骤b采用等离子放电清洗氧化物膜层表面，形成氧悬键，该氧悬键与步骤c镀制金属反射层中的金属离子结合，形成金属氧化键。

9.一种用于制造薄膜太阳能电池背电极的真空联线镀膜装置，包括顺序连接的前端进料室、真空室、缓冲室、氧化物镀膜室、金属反射层镀膜室和出料室，其特征在于所述氧化物镀膜室和金属反射层镀膜室之间设有等离子清洗室，镀有透明氧化物膜层的基片传送至等离子清洗室，由等离子放电清洗氧化物膜层表面后进入金属反射层镀膜室镀制金属膜层。

10.根据权利要求9所述的用于制造薄膜太阳能电池背电极的真空联线镀膜装置，其特征在于所述氧化物镀膜室、等离子清洗室和金属反射层镀膜室相互之间均设有气体隔离室，每个隔离室内真空度达10^-3Pa以下。

11.根据权利要求9所述的用于制造薄膜太阳能电池背电极的真空联线镀膜装置，其特征在于所述等离子清洗室内由电刷或靶材加电压，且通入氩气和氧气的混合气体或用离子源进行等离子体清洗背电极层的透明氧化物膜层。