[发明专利]一种用于超光滑表面的等离子体加工装置有效
| 申请号： | 201110323727.X | 申请日： | 2011-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN102503177A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 解滨;辛煜;皱帅 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | C03C21/00 | 分类号： | C03C21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮;李辰 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种用于超光滑表明的等离子体加工装置，包括：真空系统、感性耦合等离子体发生系统以及水冷系统。该等离子体加工装置通过感性耦合等离子体的方式产生等离子体，并在真空状态下，将等离子体作用于物件表面形成抛光机制。与现有技术相比，本发明具有加工效率高、抛光效果好以及能有效控制等离子体均匀性的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光滑 表面 等离子体 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种用于超光滑表面的等离子体加工装置，其特征在于：所述等离子体加工装置包括：真空系统，所述真空系统包括真空腔体和抽气机组，一用于置放待加工物件的样品台设置于所述真空腔体中；感性耦合等离子体发生系统，所述感性耦合等离子体发生系统包括射频源、网络匹配器、射频线圈、石英管和工作气体提供装置，所述射频线圈绕置在石英管上，该射频线圈为中空金属管，所述石英管的一端为进气口，另一端为呈锥形开口端，所述工作气体提供装置通过该进气口向石英管内提供工作气体；以及水冷系统，所述水冷系统提供的冷却水从射频线圈的中空金属管一端进入，另一端流出，形成循环冷却水路。
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