[发明专利]一种用于超光滑表面的等离子体加工装置有效
| 申请号： | 201110323727.X | 申请日： | 2011-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN102503177A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 解滨;辛煜;皱帅 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | C03C21/00 | 分类号： | C03C21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮;李辰 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光滑 表面 等离子体 加工 装置 | ||
1.一种用于超光滑表面的等离子体加工装置，其特征在于：所述等离子体加工装置包括：
真空系统，所述真空系统包括真空腔体和抽气机组，一用于置放待加工物件的样品台设置于所述真空腔体中；
感性耦合等离子体发生系统，所述感性耦合等离子体发生系统包括射频源、网络匹配器、射频线圈、石英管和工作气体提供装置，所述射频线圈绕置在石英管上，该射频线圈为中空金属管，所述石英管的一端为进气口，另一端为呈锥形开口端，所述工作气体提供装置通过该进气口向石英管内提供工作气体；以及
水冷系统，所述水冷系统提供的冷却水从射频线圈的中空金属管一端进入，另一端流出，形成循环冷却水路。
2.如权利要求1所述的等离子体加工装置，其特征在于：所述抽气机组包括分子泵和机械泵。
3.如权利要求1所述的等离子体加工装置，其特征在于：所述样品台下设有圆形磁钢，该圆形磁钢向样品台上方提供一使等离子体在样品台上方做螺旋运动的约束磁场。
4.如权利要求3所述的等离子体加工装置，其特征在于：所述石英管的锥形开口端设置于真空腔体中，该锥形开口端的开口大小与所述约束磁场匹配。
5.如权利要求3所述的等离子体加工装置，其特征在于：所述水冷系统同时连接所述样品台和圆形磁钢，并向该样品台和圆形磁钢提供冷却水。
6.如权利要求1所述的等离子体加工装置，其特征在于：所述工作气体提供装置包括工作气体源和气路控制器，该工作气体源通过该气路控制器连接在所述石英管的进气口上。
7.如权利要求1所述的等离子体加工装置，其特征在于：所述网络匹配器包括两个纵、横可调电容，该两个可调电容与射频线圈组成所述感性耦合等离子体发生系统的阻抗调制电路。
8.如权利要求1所述的等离子体加工装置，其特征在于：所述射频线圈的中空金属管表面镀有银层。
9.如权利要求1所述的等离子体加工装置，其特征在于：所述射频线圈和网络匹配器设置在一金属屏蔽盒中。
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