[发明专利]基于陶瓷封装的气体压力变送器无效
申请号: | 201110320519.4 | 申请日: | 2011-10-20 |
公开(公告)号: | CN103063357A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 张宗阳;王小平;刘胜 | 申请(专利权)人: | 刘胜 |
主分类号: | G01L19/00 | 分类号: | G01L19/00;G01L9/00 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 李平 |
地址: | 430074 湖北省武汉市珞*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种基于陶瓷封装的气体压力变送器,包括:集成压力芯片、陶瓷基座、接线柱、软胶、盖板和盖帽,其特征在于所述集成压力芯片粘接在陶瓷基座腔体内的相应位置,陶瓷基座上设有用于电气连接的接线柱,接线柱与集成压力芯片经引线键合连接,陶瓷基座腔体内的集成压力芯片上部涂覆软胶,陶瓷基座顶部分别设置有盖板和盖帽,盖板上设有一个数个通孔,盖帽上设有一个或数个通孔。本发明的优点是采用陶瓷基座封装,封装工艺简单,成本低廉,适用于无腐蚀性气体和干燥空气介质的压力测量。 | ||
搜索关键词: | 基于 陶瓷封装 气体 压力变送器 | ||
【主权项】:
一种基于陶瓷封装的气体压力变送器,包括:集成压力芯片、陶瓷基座、接线柱、软胶、盖板和盖帽,其特征在于所述集成压力芯片粘接在陶瓷基座腔体内的相应位置,陶瓷基座上设有用于电气连接的接线柱,接线柱与集成压力芯片经引线键合连接,陶瓷基座腔体内的集成压力芯片上部涂覆软胶,陶瓷基座顶部分别设置有盖板和盖帽,盖板上设有一个或数个通孔,盖帽上设有一个或数个通孔。
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