[发明专利]狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置

摘要

本发明提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以发生热变形。本发明的狭缝电极(20)包括：电极框体(21)，具有开口部(22)；以及多根电极棒(23)，在长度方向上以能够相对于所述电极框体(21)移动的方式支承于所述电极框体(21)，并且沿与长度方向大致垂直相交的方向并列设置在开口部(22)上。至少在电极框体(21)的开口部(22)外周区域的一部分上设置有制冷剂流路(R)，该制冷剂流路(R)包括：制冷剂流入口(RIN)，使制冷剂流入电极框体(21)；以及制冷剂流出口(ROUT)，使制冷剂从电极框体(21)流出。

主权项

一种狭缝电极，包括：电极框体，具有开口部；以及多根电极棒，在长度方向上以能够相对于所述电极框体移动的方式支承于所述电极框体，并且沿与所述长度方向基本垂直相交的方向并列设置在所述开口部上，所述狭缝电极的特征在于，至少在所述电极框体的所述开口部外周区域的一部分上设置有制冷剂流路，所述制冷剂流路包括：制冷剂流入口，使制冷剂流入所述电极框体；以及制冷剂流出口，使制冷剂从所述电极框体流出。