[发明专利]狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置

权利要求书

1.一种狭缝电极，包括：

电极框体，具有开口部；以及

多根电极棒，在长度方向上以能够相对于所述电极框体移动的方式支承于所述电极框体，并且沿与所述长度方向基本垂直相交的方向并列设置在所述开口部上，所述狭缝电极的特征在于，

至少在所述电极框体的所述开口部外周区域的一部分上设置有制冷剂流路，所述制冷剂流路包括：制冷剂流入口，使制冷剂流入所述电极框体；以及制冷剂流出口，使制冷剂从所述电极框体流出。

2.根据权利要求1所述的狭缝电极，其特征在于，所述制冷剂流路设置有多条。

3.根据权利要求2所述的狭缝电极，其特征在于，所述制冷剂流路包括以围绕所述开口部的方式配置的至少一对制冷剂流路，并且在成对的所述制冷剂流路中，一方的制冷剂流路上设置的制冷剂流入口与另一方的制冷剂流路上设置的制冷剂流出口相邻配置，且流过所述开口部周围的制冷剂的流动方向在各制冷剂流路中为相同方向。

4.根据权利要求2所述的狭缝电极，其特征在于，所述制冷剂流路包括以围绕所述开口部的方式配置的至少一对制冷剂流路，并且在成对的所述制冷剂流路中，一方的制冷剂流路上设置的制冷剂流入口与另一方的制冷剂流路上设置的制冷剂流出口相邻配置，且流过所述开口部周围的制冷剂的流动方向在各制冷剂流路中为相反方向。

5.根据权利要求2所述的狭缝电极，其特征在于，所述制冷剂流路包括以围绕所述开口部的方式配置的至少一对制冷剂流路，并且在成对的所述制冷剂流路中，各制冷剂流路上设置的制冷剂流入口相对于所述开口部的中心呈点对称配置，各制冷剂流路上设置的制冷剂流出口相对于所述开口部的中心呈点对称配置，且流过所述开口部周围的制冷剂的流动方向在各制冷剂流路中为相同方向。

6.根据权利要求2所述的狭缝电极，其特征在于，所述制冷剂流路包括以围绕所述开口部的方式配置的至少一对制冷剂流路，并且在成对的所述制冷剂流路中，各制冷剂流路上设置的制冷剂流入口相对于所述开口部的中心呈点对称配置，各制冷剂流路上设置的制冷剂流出口相对于所述开口部的中心呈点对称配置，且流过所述开口部周围的制冷剂的流动方向在各制冷剂流路中为相反方向。

7.根据权利要求2所述的狭缝电极，其特征在于，所述开口部为长方形，所述多根电极棒沿所述开口部的长边方向并列设置，并且隔着所述开口部的短边方向，沿所述开口部的长边方向设置至少一对直线状的制冷剂流路。

8.一种带电粒子束发生装置，其特征在于，带电粒子束引出用的电极包括权利要求1-7中任意一项所述的狭缝电极。