[发明专利]一种高强度半导体封装陶瓷材料及其制作方法有效
申请号: | 201110296847.5 | 申请日: | 2011-09-30 |
公开(公告)号: | CN102503377A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 张金利 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | C04B35/10 | 分类号: | C04B35/10;C04B35/622 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 米文智 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种高强度半导体封装陶瓷材料及其制作方法,涉及高可靠多层陶瓷封装外壳制作领域,所用原料按质量百分比由以下物质组成:玻璃粉15%~25% 着色剂5%~15% 余量为氧化铝粉料。制备方法为:(1)将原料中各组分制成0.5~0.7微米粉状并混合均匀;(2)成型;(3)成型后在N2:H2=1:1~3气氛中进行烧结,烧结温度为1200~1300℃,氮气与氢气的比例为体积比。本发明的陶瓷材料机械强度高,烧结温度较低,可以使用铜-钨作为配套的导体材料,其电导率大大提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 强度 半导体 封装 陶瓷材料 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种高强度半导体封装陶瓷材料,其特征在于:原料按质量百分比由以下物质组成:玻璃粉15%~25% 着色剂5%~15% 余量为氧化铝粉料;原料中氧化铝粉料的含量不低于70%;着色剂由TiO2和Cr2O3组成。
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