[发明专利]一种高强度半导体封装陶瓷材料及其制作方法有效
申请号: | 201110296847.5 | 申请日: | 2011-09-30 |
公开(公告)号: | CN102503377A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 张金利 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | C04B35/10 | 分类号: | C04B35/10;C04B35/622 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 米文智 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 强度 半导体 封装 陶瓷材料 及其 制作方法 | ||
1.一种高强度半导体封装陶瓷材料,其特征在于:原料按质量百分比由以下物质组成:玻璃粉15%~25% 着色剂5%~15% 余量为氧化铝粉料;原料中氧化铝粉料的含量不低于70%;着色剂由TiO2和Cr2O3组成。
2.如权利要求1所述的一种高强度半导体封装陶瓷材料,其特征在于,所述氧化铝粉料为α相,纯度大于99.9%,粉体粒度小于1μm,比表面积为3~10m2/g。
3.如权利要求1所述的一种高强度半导体封装陶瓷材料,其特征在于,玻璃粉中各个物质的质量比为:Li2O:SiO2:MgO:MnO2:Y2O3=0.5~1.5:2~6:1~3:1~4:0.5~1.5。
4.如权利要求1或3所述的一种高强度半导体封装陶瓷材料,其特征在于,玻璃粉中各个物质的质量比为:Li2O:SiO2:MgO:MnO2:Y2O3=1:4:2:3:1。
5.如权利要求1所述的一种高强度半导体封装陶瓷材料,其特征在于,着色剂中各个物质的质量比为:TiO2:Cr2O3=0.5~1.5: 0.5~1.5。
6.如权利要求1或5所述的一种高强度半导体封装陶瓷材料,其特征在于,着色剂中各个物质的质量比为:TiO2:Cr2O3=1:1。
7.如权利要求1所述的一种高强度半导体封装陶瓷材料,其特征在于,原料中玻璃粉与着色剂的质量比为2:1。
8.如权利要求1所述的一种高强度半导体封装陶瓷材料,其特征在于,原料中玻璃粉与着色剂的质量比为3:1。
9.如权利要求1所述的一种高强度半导体封装陶瓷材料,其特征在于,原料中玻璃粉与着色剂的质量比为1:1。
10.权利要求1所述的一种高强度半导体封装陶瓷材料的制备方法,包括以下步骤:(1)将原料中各组分制成0.5~0.7微米粉状并混合均匀;(2)成型;(3)成型后在氮气与氢气的比例为1:1~3气氛中进行烧结,烧结温度为1200~1300℃,所述氮气与氢气的比例为体积比。
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