[发明专利]压力传感器

摘要

一种压力传感器，其有助于将传感器和/或传感器部件与待感测的介质隔离开来，和/或有助于减少由恶劣操作环境导致的传感器损坏。在一个说明性实施例中，该压力传感器包括基板，在该基板第一侧面上安装有压力感测裸片，第一壳体构件限定了围绕压力感测裸片的第一空腔，以及第二壳体构件限定了在基板第二侧面上的第二空腔。钝化剂例如凝胶可置于第一空腔和第二空腔中，以将压力从介质传送到压力感测元件(例如薄膜)，同时将压力感测元件以及其它部件与介质隔离开来。在某些情况下，第一壳体构件和/或第二壳体构件可包括使钝化剂暴露于介质的开口。在某些情况下，该开口可由一个或多个锥形的和/或倒角的边缘限定，以助于提供对冰冻破坏的保护。

主权项

一种压力传感器(10)，包括：基板(12)，其包括第一侧面及第二侧面，该基板(12)包括在第一侧面以及第二侧面之间延伸的开口(24)；压力感测裸片(18)，其直接安装在所述基板(12)的第一侧面，其中该压力感测裸片(18)包括薄膜以及位于薄膜上的一个或多个压电电阻元件，其中该压力感测裸片(18)位于开口(24)上方；第一壳体构件，其位于所述基板(12)的第一侧面上并限定出围绕压力感测裸片(18)的第一空腔(28)，其中第一壳体构件包括由第一壳体构件的一个或多个第一边缘(21)限定的第一压力开口(20)；第一钝化剂(13)，其位于第一空腔(28)内，以覆盖至少部分的压力感测裸片(18)以及至少部分的基板(12)的第一侧面；第二壳体构件，其位于所述基板(12)的第二侧面上并限定出第二空腔(29)，其中第二壳体构件包括由第二壳体构件的一个或多个第二边缘(21)限定的第二压力开口(22)；以及第二钝化剂(13)，位于第二空腔(29)内，以覆盖至少部分的基板(12)的第二侧面。