[发明专利]一种在细长管道内壁镀制薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种在细长管道内壁镀制薄膜的方法，属于真空镀膜技术领域。该方法是将需镀膜的管道置于反应室内，将气相前驱体以脉冲形式交替通入反应器，第一种前躯体到达管道内，以化学吸附在管道内壁形成一个单吸附层；再通入第二种前驱体，与第一种前驱体反应，在管道内壁生成一个单原子层的薄膜。在每个前驱体脉冲之间需要用惰性气体对反应器进行清洗，再重复吸附和反应过程，逐层生成薄膜。本方法通过气体吸附和反应相结合的方式，实现了在细长管道内壁的镀制薄膜，解决目前无法采用真空镀膜方法在细长管道内壁镀制薄膜的难题，可在不同的材料表面镀制金属、氧化物、氮化物、硫化物、氟化物等各类薄膜材料，满足不同需求。

主权项

一种在细长管道内壁镀制薄膜的方法，包括以下工艺步骤：（1）将需镀膜的细长管道置于与管道相适配的反应室内，将反应室抽真空；（2）以脉冲形式向反应室内通入第一种气相前驱体A，在需镀膜的管道内表面以化学吸附形成一个单吸附层；（3）向反应室内通入惰性气体，将未吸附的多余前驱体A排除；（4）以脉冲形式向反应室内通入第二种气相前驱体B，与前驱体A反应，在需镀膜的管道内表面生成一个单原子层；（5）向反应室内通入惰性气体，将未反应的多余前驱体B排除；（6）重复上述步骤（2）~（5），每重复一次，生成一个单原子层，直到膜层厚度满足要求为止。