[发明专利]一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用无效
| 申请号： | 201110262186.4 | 申请日： | 2011-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN102305256A | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李伟明;黄高山;吴晓京;梅永丰 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | F16F1/02 | 分类号： | F16F1/02;B81C1/00;B82B3/00;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用。制备方法包括：准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条；选择性地除去在金属条以及衬底之间的部分牺牲层，释放金属条，从而金属条卷曲成为金属纳米/微米弹簧。该金属纳米/微米弹簧可用于流量传感器的测量，具体是将带有金属微米/纳米弹簧的衬底固定在流体通道内部；当流体流过通道时，弹簧达到平衡状态，通过测量弹簧的伸长量来测量流体流速。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 微米 纳米 弹簧 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种金属微米/纳米弹簧的制备方法，其特征在于具体步骤为：（1）准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；（2）在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条；（3）选择性地除去在金属条和衬底之间的部分牺牲层，释放金属条，从而金属条卷曲成为金属纳米/微米弹簧； 步骤（2）在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条，包括以下两个步骤，首先利用物理或化学气相沉积法在牺牲层上沉积一层金属薄膜，然后利用光刻的方法将金属薄膜图形化，称为金属条。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于复旦大学，未经复旦大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110262186.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
