[发明专利]一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种金属微米/纳米弹簧的制备方法，其特征在于具体步骤为：

（1）准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；

（2）在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条；

（3）选择性地除去在金属条和衬底之间的部分牺牲层，释放金属条，从而金属条卷曲成为金属纳米/微米弹簧； 

步骤（2）在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条，包括以下两个步骤，首先利用物理或化学气相沉积法在牺牲层上沉积一层金属薄膜，然后利用光刻的方法将金属薄膜图形化，称为金属条。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于所述利用物理气相沉积法在牺牲层上沉积一层金属薄膜，通过控制沉积参数，包括沉积速率、衬底温度、衬底倾斜角度或者沉积压强，得到具有在生长方向内应力梯度差和各向异性杨氏模量的金属薄膜。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于所述金属的材料为金、钛、铬、或铝单一组分金属，或者是这些金属中几种的合金，或者是这些金属中几种的多层金属。  

4.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于所述的牺牲层是SiO2层。

5.如权利要求1—4之一所述的制备方法制备获得的金属微米/纳米弹簧。

6.如权利要求5所述的金属微米/纳米弹簧在流量传感器中测量流体流速和流量的应用。