[发明专利]一种使用金刚石线切割的太阳能级多晶硅片的方法无效
| 申请号： | 201110258631.X | 申请日： | 2011-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN102285011A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 于景;俞建业;曾斌;叶平;欧阳思周;汤玮;胡凯 | 申请（专利权）人： | 江西金葵能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 萍乡益源专利事务所 36119 | 代理人： | 张放强 |
| 地址： | 337000 江西省萍*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种使用金刚石线切割的太阳能级多晶硅片的方法，多晶硅棒经过开方、磨削和研磨加工后进行粘棒，通过粘棒将多晶硅棒加压固定在树脂条上，再将树脂条固定在粘料板上，再将粘料板连同多晶硅棒放入工作舱内，切割液预热并在工作舱循环工作，进行金刚石线切割成多晶硅片，将多晶硅片倒置于脱胶设备上进行脱胶，再用超声波进行清洗，再进行甩干制造而成。本发明多晶硅片面上不会产生云哚式的切痕，提高了多晶硅片的光电转化效率，金刚石线切割速度快，切割的多晶硅片尺寸精度高，误差小，产品合格率达到95%以上。切割产生的硅粉可以回收利用，节约了宝贵的硅资源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 金刚石 切割 太阳 能级 多晶 硅片 方法 | ||
【主权项】：
一种使用金刚石线切割的太阳能级多晶硅片的方法，其特征在于：先用多晶硅棒经过开方、磨削和研磨加工后进行粘棒，通过粘棒将多晶硅棒加压固定在树脂条上，再将树脂条固定在粘料板上，固化后再将粘料板连同多晶硅棒放入工作舱内，切割液预热并在工作舱循环工作，而后进行金刚石线切割成多晶硅片，将多晶硅片倒置于脱胶设备上进行脱胶，再用超声波进行清洗，再进行甩干制造而成。
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