[发明专利]一种保持研磨率稳定的装置及其方法无效
| 申请号： | 201110257262.2 | 申请日： | 2011-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102962760A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 张守龙;白英英;陈玉文 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/005;H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种保持研磨率稳定的装置，包括调节器、与调节器连接的悬臂、研磨垫，调节器用以刮削研磨垫表面，悬臂内具有电机，保持研磨率稳定的装置还包括：检测分析单元，与电机信号连接，检测分析单元用以检测电机的扭矩，并且根据电机的扭矩调整调节器的程式设定；控制单元，与检测分析单元信号连接，接收程式设定并控制电机的转速。本发明还提供了一种保持研磨率稳定的方法。本发明提供的保持研磨率稳定的装置，通过检测电机的扭矩从而调整电机的转速，使电机所在悬臂的工作趋于稳定，进一步使与悬臂连接的调节器对研磨垫的刮削力度均衡，最终使研磨垫表面的粗糙度保持均匀良好，能够保证研磨率稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保持 研磨 稳定 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种保持研磨率稳定的装置，包括调节器、与所述调节器连接的悬臂、研磨垫，所述调节器用以刮削所述研磨垫表面，所述悬臂内具有电机，其特征在于，还包括：检测分析单元，与所述电机信号连接，所述检测分析单元用以检测所述电机的扭矩，并且根据所述电机的扭矩调整所述调节器的程式设定；控制单元，与所述检测分析单元信号连接，接收所述程式设定并控制所述电机的转速。
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