[发明专利]一种保持研磨率稳定的装置及其方法无效
| 申请号： | 201110257262.2 | 申请日： | 2011-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN102962760A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 张守龙;白英英;陈玉文 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/005;H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 保持 研磨 稳定 装置 及其 方法 | ||
1.一种保持研磨率稳定的装置，包括调节器、与所述调节器连接的悬臂、研磨垫，所述调节器用以刮削所述研磨垫表面，所述悬臂内具有电机，其特征在于，还包括：
检测分析单元，与所述电机信号连接，所述检测分析单元用以检测所述电机的扭矩，并且根据所述电机的扭矩调整所述调节器的程式设定；
控制单元，与所述检测分析单元信号连接，接收所述程式设定并控制所述电机的转速。
2.根据权利要求1所述的保持研磨率稳定的装置，其特征在于，所述检测分析单元包括扭矩传感器以及数据分析器，所述扭矩传感器与所述电机信号连接，所述扭矩传感器与所述数据分析器信号连接。
3.根据权利要求1或2所述的保持研磨率稳定的装置，其特征在于，所述程式设定包括设定所述调节器对所述研磨垫的压力以及设定所述调节器与所述研磨垫之间的距离。
4.一种利用权利要求1所述的保持研磨率稳定装置的使用方法，其特征在于，包括：
利用检测分析单元检测电机的扭矩，并且根据所述电机的扭矩调整调节器的程式设定；
控制单元接收所述程式设定并控制所述电机的转速。
5.根据权利要求4所述的保持研磨率稳定的方法，其特征在于，所述检测分析单元包括扭矩传感器以及数据分析器，所述扭矩传感器检测电机的扭矩，所述数据分析器根据检测得到的所述扭矩调整所述调节器的程式设定。
6.根据权利要求4所述的保持研磨率稳定的方法，其特征在于，所述数据分析器根据所述扭矩调整所述研磨垫的压力。
7.根据权利要求4所述的保持研磨率稳定的方法，其特征在于，所述数据分析器根据所述扭矩调整所述调节器与所述研磨垫之间的距离。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110257262.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
