[发明专利]一种光刻机机中的输片双稳态水平锁紧装置无效
| 申请号： | 201110236926.7 | 申请日： | 2011-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN102279533A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 邢薇;王肇志;胡松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16B1/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种光刻机中的输片双稳态水平锁紧装置：一基板，上面平行地固定有两个滚轮支架，每个滚轮支架上各安装有一转销，并每个转销上装有一呈凹槽的轮架，且所述轮架凹槽的两端朝向上方；滚轮支架上固定有一左挡销和一右挡销，所述左挡销和右挡销分别位于转销的左、右两则；轮架上固定有上挂销，基板上固定有下挂销，上挂销和下挂销之间连接一拉簧，该上挂销和下挂销的位置须满足拉簧的中心平衡点；一档板，固定在滚轮支架的上方一侧；一片夹，其一端平行且对称地开设有两穿透孔，轮架的滚轮分别可嵌入这两个穿透孔中。本发明保证了片夹在承片台上的水平方向上的准确定位及锁紧，使片夹在曝光过程中不会因震动引起水平方向上的偏移和摆动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 中的 双稳态 水平 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻机中的输片双稳态水平锁紧装置，其主要结构为：一基板，上面平行地固定有两个滚轮支架，每个滚轮支架上各安装有一转销，并每个转销上装有一呈凹槽的轮架，且所述轮架凹槽的两端朝向上方；滚轮支架上固定有一左挡销和一右挡销，所述左挡销和右挡销分别位于转销的左、右两则；轮架上固定有上挂销，基板上固定有下挂销，上挂销和下挂销之间连接一拉簧，该上挂销和下挂销的位置须满足拉簧的中心平衡点；一档板，固定在滚轮支架的上方一侧；一片夹，其一端平行且对称地开设有两穿透孔，轮架凹槽的两端分别可嵌入这两个穿透孔中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110236926.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：两板压铸机
- 下一篇：一种消失模模具用可调节快速压紧装置
