[发明专利]一种光刻机机中的输片双稳态水平锁紧装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种光刻机中的输片双稳态水平锁紧装置，还可广泛应用于工业自动化中的工件送取传输等方面。

背景技术

随着电子束曝光机技术的发展，曝光系统越来越需要快速、准确的将片夹放在承片台上，而且片夹在承片台上的定位精度将直接影响到曝光机的曝光质量，片夹定位的精度是曝光机高质量曝光图形的前提条件和根本保证。该装置保证了片夹在承片台上的水平方向上的准确定位及锁紧，使片夹在曝光过程中不会因震动引起水平方向上的偏移和摆动。原有的承片台是靠限位开关确定片夹上片位置，水平方向上无自动定位锁紧装置，在长期使用过程中，由于机械开关弹性受损易出现定位不准。而且，在长时间的曝光工作过程中，由于地基的震动及人为对台子碰撞都会使片夹在曝光过程中产生位移，影响了曝光质量。针对上述问题，我们设计了这种光刻机中的输片双稳态水平锁紧装置，此外它还可用于工业自动化中的工件送取传输等领域。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻机中的输片双稳态水平锁紧装置，在片夹在上片时能被自动的在水平方向上定位锁紧，曝光后需下片时片夹又能被及时的放开取走，保证了光刻机中片夹的良好定位，解决了光刻机在长时间曝光过程中片夹的偏移和摆动问题。

为实现上述目的，本发明提供的光刻机中的输片双稳态水平锁紧装置，其主要结构为：

一基板，上面平行地固定有两个滚轮支架，每个滚轮支架上各安装有一转销，并每个转销上装有一呈凹槽的轮架，且所述轮架凹槽的两端朝向上方；

滚轮支架上固定有一左挡销和一右挡销，所述左挡销和右挡销分别位于转销的左、右两则；

轮架上固定有上挂销，基板上固定有下挂销，上挂销和下挂销之间连接一拉簧，该上挂销和下挂销的位置须满足拉簧的中心平衡点；

一档板，固定在滚轮支架的上方一侧；

一片夹，其一端平行且对称地开设有两穿透孔，轮架凹槽的两端分别可嵌入这两个穿透孔中。

所述光刻机中的输片双稳态水平锁紧装置，其中，拉簧由QB2材料制成。

所述光刻机中的输片双稳态水平锁紧装置，其中，轮架凹槽的两端顶部各设有一滚轮。

本发明的有益效果是：

由于本装置运用了簧开关原理，通过轮架的摆动，使片夹在上片时能够从机械手到承片台的精确校正过渡，同时在水平方向上又被自动的锁紧，实现曝光过程中片夹无偏移和摆动，下片时又能平稳的将片夹放开。解决了片夹在长期工作过程中因震动产生的偏移和摆动引起的光刻误差问题。

附图说明

图1是本发明轮架1的左状态位示意图；

图2是本发明轮架1的右状态位示意图；

图3是本发明片夹俯视图；

图4是图1的俯视示意图。

附图中主要组件符号说明：

轮架1；左滚轮2；右滚轮3；转销4；上挂销5；下挂销6；拉簧7；左挡销8；右挡销9；滚轮支架10；基板11；片夹12；穿透孔13；挡板14。

具体实施方式

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：在承片台上安装一种输片双稳态水平锁紧装置，当片夹上片时能在水平方向自动定位锁紧片夹，在下片时又及时放开片夹。

本发明的原理是：本装置运用了簧开关原理，通过轮架的摆动，使片夹在上片时能够从机械手到承片台的精确校正过渡，同时在水平方向上又被自动的锁紧，实现曝光过程中片夹无偏移和摆动，下片时又能平稳的将片夹放开。

下面结合附图对本发明作详细描述。需要说明的，下述的方向(比如：前、后、左、右、上、下)是按图示方向而言。

如图1所示，本发明由轮架1、左滚轮2、右滚轮3、转销4、上挂销5、下挂销6、拉簧7、左挡销8、右挡销9、滚轮支架10、基板11、片夹12、沉孔13、挡板14构成。

根据图4所示，是图1的俯视图。从图4可以得知，本发明的输片双稳态水平锁紧装置按图4方向为上下两组，在实际中，是在一基板11的平面上平行地固定有两组，两组的结构和工作过程是一样的。为叙述简便，只描述其中的一组。