[发明专利]一种孔径和厚度可控、通孔阳极氧化铝膜的制备方法

摘要

本发明涉及阳极氧化铝膜的制备技术，具体为一种制备小孔径、超薄、孔径和厚度可控的通孔阳极氧化铝膜的方法。以高纯铝为阳极，在硫酸的电解液中施加一定的恒压直流电源进行阳极氧化，选择适当的阴阳极间电压、电解液浓度、电解液温度及阳极氧化时间，反应后将带有铝基体的阳极氧化铝作为阳极，置于高氯酸和丙酮的混合液中，在高于阳极氧化电压5-15V的电压下阳极电解处理，使氧化铝膜与铝基体分离且同时去除阻挡层，从而得到小孔径、孔径和厚度可控且通孔的阳极氧化铝膜。本发明实现了小孔径、通孔阳极氧化铝膜的大量、简单、无损、均匀、规模制备，解决了目前无法获得小直径、超薄、通孔阳极氧化铝膜的技术难题。

主权项

一种孔径和厚度可控、通孔阳极氧化铝膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将高纯铝片先后经丙酮超声清洗1～3分钟、摩尔浓度1～3M氢氧化钠溶液浸泡2～5分钟，来除去铝片表面存在的油脂和氧化物；(2)将步骤(1)处理后的铝片作为阳极，以相同铝片作为阴极，采用直流恒压进行一次阳极氧化，一次阳极氧化时间为2～5小时，阳极氧化温度为‑10～20℃，电解液为硫酸水溶液；电解液浓度为5～40wt％，电压为3～20V；(3)步骤(2)处理后得到的氧化铝，在温度为60～80℃的条件下，在1.8～2.4wt％三氧化铬和4～6wt％磷酸混合水溶液中处理，处理时间为30～60分钟，以除去一次阳极氧化层；(4)步骤(3)处理后的铝片经去离子水清洗后，在步骤(2)相同条件下再次阳极氧化，阳极氧化时间根据所需膜厚确定，范围为15min～10h；(5)步骤(4)处理后的氧化铝膜放入高氯酸的丙酮脱膜溶液中，高氯酸和丙酮的混合液的体积比为(1～10)∶1，施加高于阳极氧化电压5～15V的直流电压，室温下进行阳极电解脱膜处理，在1分钟以内可得到通孔、独立的阳极氧化铝膜。