[发明专利]研磨装置及研磨方法有效
| 申请号： | 201110231130.2 | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN102922412A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 陈枫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/005 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨装置，包括：底盘；研磨头；研磨驱动装置，连接所述底盘和研磨头，用于驱动所述研磨头以研磨置于所述底盘的待研磨器件；终点装置，包括两个电极探头及与所述电极探头电连接的控制装置；其中，所述两个电极探头适于测量流经其间的研磨液的电流数值，所述控制装置与所述研磨驱动装置电连接。本发明还提供一种研磨方法。本发明通过根据所述电流数值的变化监控研磨进程，并进一步地控制研磨进程，避免过研磨对待研磨器件造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，其特征在于，包括：底盘；研磨头；研磨驱动装置，连接所述底盘和研磨头，用于驱动所述研磨头以研磨置于所述底盘的待研磨器件；终点装置，包括两个电极探头及与所述电极探头电连接的控制装置；其中，所述两个电极探头适于测量流经其间的研磨液的电流数值，所述控制装置与所述研磨驱动装置电连接。
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